Нормирование и критерии оценки воздействия вибрации на оборудование и технологические процессы
4.3.1 Уровни вибрации в месте установки оборудования, чувствительного к вибрации, не должны превышать требований 4.3.2 для обеспечения заданных изготовителем оборудования параметров работы чувствительных контрольно-измерительных приборов или высокоточных производственных процессов.
Примечание - Примерами высокоточного оборудования являются микровесы, электронные, туннельные, атомно-силовые, оптические и др. микроскопы, фотографические проекционные системы интегральных схем, оборудование для выращивания кристаллов, средства лазерной интерферометрии, приборы и оборудование для записи голографических дифракционных решеток, профилометры, делительные машины, фотоповторители, установки совмещения и экспонирования, установки для прецизионной литографии, компараторы, эталонные установки, нанотехнологическое оборудование и т.д.
4.3.2 Оцениваемой величиной является среднеквадратическое значение (СКЗ) виброскорости колебаний основания, м/с, в направлении трех взаимно перпендикулярных осей X, Y и Z - 
, 
и 
соответственно, для третьоктавных полос в диапазоне 1-100 Гц, в месте установки оборудования.
Допустимые параметры вибрации устанавливаются изготовителем оборудования. При их отсутствии следует пользоваться VC-кривыми, приведенными в таблице 4.3.
Таблица 4.3 - Параметры VC-кривых
| VC-кривая | Среднеквадратическое значение скорости, мкм/с | Пиковое значение скорости для синусоидальной | Пиковое значение скорости для случайной вибрации (10 мин), мм/с
| |||
| волны, мм/с | 8 Гц | 100 Гц | ||||
| A | 50 | 0,071 | 0,22 | 0,25 | ||
| B | 25 | 0,035 | 0,11 | 0,12 | ||
| C | 12,5 | 0,018 | 0,056 | 0,062 | ||
| D | 6 | 0,0085 | 0,027 | 0,030 | ||
| E | 3 | 0,0042 | 0,013 | 0,015 | ||
| F | 1,56 | 0,0021 | 0,0068 | 0,0075 | ||
| G | 0,78 | 0,0011 | 0,0033 | 0,0038 | ||
4.3.3 Оценка воздействия вибрации на технологическое оборудование производится для времени оценки, составляющем не менее 10 мин в каждой точке для каждого направления.
Для повышения точности измерений рекомендуется увеличивать время проведения измерения до 4 ч, если иное не оговорено в техническом задании на проектирование.
Примечание - При проведении измерений для оценки вибрационного фона в месте установки высокоточного оборудования следует учитывать возможно большее число факторов, влияющих на него, в том числе: режимы работы другого оборудования, установленного в здании, где планируется размещение высокоточного оборудования, или в других зданиях, смежных с ним, режим работы метрополитена и иные факторы, указанные в ГОСТ Р ИСО ТС 10811-1*.
________________
* Вероятно, ошибка оригинала. Следует читать: ГОСТ Р ИСО/ТС 10811-1 , здесь и далее по тексту. - Примечание изготовителя базы данных.
|
|
|
4.3.4 Натурные измерения проводят по ГОСТ Р ИСО ТС 10811-1. В зависимости от условий измерений коэффициент преобразования датчиков должен быть не менее 100 мВ/(м/с 
) для акселерометров и 25 мВ/(мм/с) для датчиков скорости.
4.3.5 Значения оцениваемых параметров по 4.3.2 следует определять посредством измерений с помощью интегрирующих цифровых приборов с использованием записи истории процесса.
Результаты измерений для каждой точки и каждого направления должны содержать оценку среднего значения СКЗ виброскорости колебаний основания, м/с, максимальное и минимальное значения СКЗ виброскорости колебаний основания, м/с, а также среднее значение ± среднеквадратическое отклонение СКЗ виброскорости колебаний основания, м/с.
4.3.6 Выполнение оценки по результатам измерений следует проводить на основании сопоставления измеренных величин по 4.3.5 с требованиями, установленными 4.3.2.
Дата добавления: 2021-01-21; просмотров: 102; Мы поможем в написании вашей работы! |
Мы поможем в написании ваших работ!