Линии технологического процесса (линейки производства)
Все операции технологического цикла фотолитографии выполняют в специальных агрегатах, представляющих собой законченную технологическую линию. В состав линии входят: установка обезжиривания, установка нанесения фоторезиста, установка сушки фоторезиста, установка совмещения и установка экспонирования, установка проявления фоторезиста, установка контроля, установка сушки проявленного фоторезиста и задубливания, установка травления рельефа в подложке, установка удаления фоторезиста, установка выходного контроля качества пластин после процесса фотолитографии.
Качество проведения каждой операции в процессе фотолитографии в основном определяет процент выхода годных изделий. Требования к качеству возрастают при переходе от дискретных приборов и микросхем со средним уровнем интеграции к большим интегральным схемам. Это связано с тем, что для ИС характерны большие критические площади, т. е. области, на которых появление локального дефекта приводит к выходу из строя микросхемы в целом.
Причины образования локальных дефектов: собственные загрязнения фоторезиста и реактивов (проявителя, травителей и др.); загрязнения, вносимые в результате деятельности операторов из окружающей среды (начиная от контакта с технологической тарой и оборудованием); низкое качество фотошаблонов (проколы, остатки покрытия в окнах, выколки стекла и др.); дефекты на поверхности подложки (загрязнения после отмывки, пирамиды роста (домики) на эпитаксиальных слоях); механические нарушения слоя фоторезиста вследствие попадания твердых частиц между резистом и шаблоном при контакте или вследствие неосторожного обращения с пластиной при транспортировке или манипулировании.
|
|
|
Причины неточной передачи размеров изображения: неоптимальные режимы проведения операций экспонирования, проявления, сушки и травления; неправильный подбор пары фоторезист – травитель для данного типа подложки; зазор между шаблоном и слоем фоторезиста из-за искривления пластины, попадания инородных частиц и др.
Проблема повышения качества изделий процесса фотолитографии решается при комплексном подходе. Для этого на производствесоздана единая система очистки и фильтрации, обеспечивающая не только тщательную фильтрацию фоторезиста и отмывку пластин и фотошаблонов, но и тонкую фильтрацию воздуха, всех газов, воды, реактивов. Только применение такой системы в условиях максимальной автоматизации процесса и организации автоматизированных систем контроля обеспечивает высокий процент выхода годных изделий.
Указание мер безопасности:
1. К работе на комплексе допускаются лица достигшие возраста 18 лет, изучившие настоящую инструкцию, инструкцию по технике безопасности при работе на данном комплексе, а также прошедшие местный инструктаж по технике безопасности труда. Для работы на комплексе необходимо дополнительно руководствоваться документами:
|
|
|
Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей и правила техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей.
Правила техники безопасности и производственной санитарии в электронной промышленности.
Правила устройства электроустановок (ПУЭ).
2. На комплексе должен работать оператор, имеющий квалифицированную группу по технике безопасности не ниже 3.
3. При эксплуатации, тех. Обслуживании и ремонте комплекса могут возникнуть следующие виды опасности:
Электроопасность;
Опасность травмы от движущихся частей комплекса;
Опасность хим. Ожогов;
Токсичность.
3.1 источниками электроопасности при поражении электрическим током являются:
Пульт управления, оператор, электродвигатель вращения карусели, устройства нагревательные крышки и азота. Устройства нагревательные 2-х ванн, блок трансформаторов и разводка электрических проводов, которые могут oказаться под напряжением из-за повреждения электрической изоляции или обрыва электрических проводов.
|
|
|
3.2 источниками опасности травмы от движущихся частей комплекса являются:
Вращающаяся карусель, открывающихся крышка установки отмывки и сушки, перемещение автооператора.
3.3 источником опасности химических ожогов на установке являються реагенты на установке химической обработки
4 Меры предосторожности
4.1 при электроопасности:
Производить периодический осмотр электрических проводов и проверять их электрическую изоляцию;
Производить периодическую проверку сопротивления изоляции между токоведущими цепями и корпусом.
4.2 при предотвращении опасности травмы от движущихся частeй комплекса запрещается:
Работать на комплексе с неисправной блокировкой отключения вращения карусели и неисправной блокировкой закрытия крышки:
Располагать руки оператора в зону движения автооператора.
4.3. Для предотвращения химических ожогов при заполнении установки химической обработки комплекса реагентами оператором должны использоваться следующие меры защиты
Костюм мужской к ГОСТ 27.652-s8 или костюм женский к ГОСТ 27,654-38;
Фартук ГОСТ 12-4-029-76:
|
|
|
Очки защитные тип г (бесцветные стекла) ГОСТ 12.4.013-85:
Перчатки ГОСТ 20010-74! .
Сапоги.
4.4 при работе на установке химической обработки комплекса оператором должна использоваться технологическая одежда.
4.5 для предотвращения токсичности следить за тем, чтобы все время исправно работала вытяжная вентиляция.
4.6. Запрещается работать на комплексе:
Без заземления;
Без вытяжное вентиляции;
При наличии течей в трубопроводах.
4.7. Запрещается выполнять ремонтно-профилактические работы лицам, не имеющим на это допуск.
4.8. При эксплуатации комплекс должен быть подсоединен к сливной химостойкой канализации с нейтрализатором стоков и системе вытяжной вентиляции с устройством улавливания вентиляционных.
4.9. Заземляющий зажим комплекса. Расположенный в нижней части задней стенки пульта управления ГОСТ 3.867.551. Должен быть подсоединен к контуру заземления.
Дата добавления: 2019-03-09; просмотров: 303; Мы поможем в написании вашей работы! |
Мы поможем в написании ваших работ!